氣氛型高溫探針臺

功能描述：

快速實現室溫-200℃環境的控溫，可在真空環境下對樣品進行光學，電學測試，測試中也可實現惰性氣體的快速充放。根據樣品材料，形狀不同可選擇探針，插拔等多種安裝測試方式。

快速實現室溫-200℃環境的控溫，可在真空環境下對樣品進行光學，電學測試，測試中也可實現惰性氣體的快速充放。根據樣品材料，形狀不同可選擇探針，插拔等多種安裝測試方式。

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氣氛型高溫腔參數：

①　溫度范圍：室溫-200℃；

②　標準鉑電阻溫度計；

③　控溫精度：±0.1k；

④　真空度：10E-3Pa；

⑤　提供真空抽口*1、氣體入口*1、氣體出口*1、真空釋放口*1；

⑥　匹配觀察窗，插拔樣品卡，探針卡，鱷魚夾。