在大多數(shù)超高真空系統(tǒng)中進(jìn)行的烘烤過程可能會損壞溫度傳感器結(jié)構(gòu)中使用的材料。即使傳感器能夠承受較高的烘烤溫度，傳感器的校準(zhǔn)也可能發(fā)生變化。如果沒有烘烤，傳感器中的一些材料（例如Stycast®）也可能會作為泄漏干擾高真空。各種類型的環(huán)氧樹脂和陶瓷可能會產(chǎn)生相當(dāng)大的放氣，其中一些材料無法在高溫烘烤中幸存下來。采用適當(dāng)?shù)姆庋b、二極管、Cernox,  銠鐵和鉑RTD可以容易地用于需要高溫烘烤的超高真空系統(tǒng)中。

在超高真空環(huán)境中需要注意的具體因素有：

     在這種環(huán)境中使用傳感器之前，檢查傳感器的結(jié)構(gòu)材料與超高真空的兼容性。這包括熱潤滑脂、環(huán)氧樹脂和焊料（例如，由于蒸汽壓力，Apiezon®N潤滑脂不能在這些系統(tǒng)中使用）。

     焊料可能不兼容。可能需要焊接。

     低溫電線使用的典型絕緣材料可能與高溫烘烤和超高真空不兼容，原因是熱額定值和放氣。