全自動探針臺是用于測量樣品的電學性能的設備,它可以自動移動探針頭并在樣品上進行定位,從而進行電學測量。它是現代納米科技中常用的實驗設備之一,廣泛應用于半導體、納米材料、生物分子等領域的研究。
全自動探針臺主要由以下幾部分組成:
1. 探針頭:用于與樣品接觸并測量其電學性能。
2. 樣品臺:用于固定和定位樣品。
3. 運動系統:用于控制探針頭在樣品上的移動。
4. 控制系統:用于控制整個探針臺,包括運動系統和探針頭。
5. 真空系統:用于在探針臺測量時保持真空環境。
6. 計算機系統:用于操作和控制探針臺。
7. 電源和信號線:用于為探針臺提供電力和信號。
