高低溫探針臺是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗儀器，主要用于測試不同環(huán)境、不同溫度條件下微結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體器件、微電子器件及材料電學(xué)特性表征。根據(jù)功能和應(yīng)用領(lǐng)域的不同，高低溫探針臺可以分為多種類型，包括但不限于以下分類：
真空高低溫探針臺：這種探針臺可以在真空環(huán)境下進(jìn)行高低溫測試，適用于對材料在真空條件下的電學(xué)性能進(jìn)行表征和測量。其溫度范圍一般從液氦溫度（約4K）到高溫（如475K），并且具有高精度的溫度控制和穩(wěn)定性。
射頻高低溫探針臺：這種探針臺可以在高低溫條件下進(jìn)行射頻測試，適用于對半導(dǎo)體器件的射頻特性進(jìn)行表征。其溫度范圍和溫度控制精度與真空高低溫探針臺相似，但還具備射頻測試功能，可以對器件的射頻參數(shù)進(jìn)行測量。
光學(xué)高低溫探針臺：這種探針臺結(jié)合了光學(xué)顯微鏡和高低溫測試功能，可以在高低溫條件下對樣品的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀察和電學(xué)性能測試。其溫度范圍和溫度控制精度與其他類型的高低溫探針臺相似，但還具備高分辨率的光學(xué)顯微鏡，可以對樣品進(jìn)行微米級別的觀察。