超高真空(Ultra High Vacuum,UHV)是指壓力低于1×10-8mbar的真空狀態。在這種環境下,氣體分子的數量非常**,平均自由程約數十公里,處于分子流狀態,幾乎所有分子相互作用都發生在腔體的各個表面上。典型的固體表面原子密度約為1015cm-2,假設碰撞到表面上的分子*全被吸附,在10-6mbar的真空壓力下形成分子單層僅需幾秒,而在10-10mbar或10-11mbar真空下時,形成單分子層的時間則達幾小時到幾十小時,因此,潔凈的材料表面都必須在超高真空環境下獲得和保持。
UHV技術的應用廣泛覆蓋多個領域,包括材料科學、表面科學、半導體工業和光學研究等。在超高真空的環境中,研究者能夠更加準確地深入研究材料的特性、探索表面化學反應和微觀結構,同時應用于制造高性能電子器件等前沿領域。
超高真空技術主要涉及超高真空的獲取、測量和維持,以及UHV條件下的運動。錦正茂科技已成功掌握超高真空狀態下涉及的一系列精密而復雜的技術,包括高效的真空泵系統、特殊材料的選擇和處理、精密的真空腔室設計,以及準確的真空測量和控制系統。這些技術的綜合運用使得超高真空環境不僅能夠提供極低的氣體分子干擾,同時能夠穩定地維持這種高度真空狀態。
