一、常用的金屬材質(zhì)
不銹鋼 304，316，316L，316 LN
*常見的材質(zhì)，600℃以下的結(jié)構(gòu)件，加工簡單，成本可控。
 無氧銅，鈹青銅，磷青銅
無氧銅一般用于低溫導(dǎo)熱或者墊片等材質(zhì)，可以從極低溫一直工作到500℃左右，但是在高溫區(qū)就不適宜再作為結(jié)構(gòu)件，因?yàn)閺?qiáng)度大大降低。
鈹青銅和磷青銅的特點(diǎn)是硬度很大，同時(shí)很耐磨，因此可以作為真空內(nèi)部的軸承或者耐磨件使用。
鈹青銅因?yàn)槠鋸椥蕴攸c(diǎn)，還被用于很多彈片和插針的制造。
鉭，鉬，鎢，鈦
這些都是耐高溫金屬，按照耐高溫程度，由低到高的排列是鈦，鉬，鉭，鎢
按照加工難易度來說，鎢的硬度和難度*高，鉬的加工件相對偏脆，鉭的加工和不銹鋼類似，鈦在加工過程中隨著溫度的升高會(huì)出現(xiàn)粘刀的現(xiàn)象。
按照耐腐蝕程度來說，鈦在表面會(huì)形成致密的保護(hù)層，可以用于高溫氧化的環(huán)境。
而鉬在氧氣的情況下在500℃以上會(huì)形成氧化鉬，二氧化鉬在高溫下會(huì)生化，這個(gè)就會(huì)造成鉬材質(zhì)的原件在高溫氧化環(huán)境下會(huì)不斷腐蝕。

二、常用的非金屬材料
氧化鋁陶瓷
氧化鋁陶瓷因?yàn)榧庸ず唵?，特別是批量加工成本較低，所以被大量的用在真空環(huán)境中，一般用作絕緣墊片或者高溫的隔熱材料等等。
 聚四氟
聚四氟的性狀很穩(wěn)定，而且具有自潤滑的特點(diǎn)，因此在真空內(nèi)部常被用做潤滑組件和絕緣組件，聚四氟的*高使用溫度可以達(dá)到200℃左右，因此可以滿足超高真空的烘烤要求。
PEEK
聚醚醚酮(PEEK)樹脂是一種性能優(yōu)異的特種工程塑料，與其他特種工程塑料相比具有更多顯著優(yōu)勢，耐正高溫260度、機(jī)械性能優(yōu)異、自潤滑性好、耐化學(xué)品腐蝕、阻燃、耐剝離性、耐磨性、不耐強(qiáng)硝酸、濃硫酸、抗輻射、*強(qiáng)的機(jī)械性能可用于*端的機(jī)械、核工程和航空等科技。
相對聚四氟，PEEK可以通過摻雜改性得到很多種不同性質(zhì)的子類材料，例如耐摩擦，耐腐蝕，隔熱等等。