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在真空腔體內(nèi)表面鍍一層吸附材料真空度是否能更好

更新時(shí)間:2026-02-27 點(diǎn)擊量:23

可以的。很多金屬元素的新鮮表面都可以作為真空吸附材料,比如TiCe等。Ti泵是使用比較廣泛的真空泵,就是通過(guò)鈦棒蒸發(fā)新鮮鈦到腔壁上來(lái)實(shí)現(xiàn)真空吸附。
現(xiàn)代同步輻射的直線管道則基本采用內(nèi)壁濺射NEGNon-Evaporable Getter)材料來(lái)實(shí)現(xiàn)超高真空,同時(shí)減少電子打到腔壁引起二次電子,避免污染光學(xué)元件。NEG是目前比較流行的技術(shù),主要是鋯鐵釩合金材料,不需要蒸發(fā),通過(guò)真空中加熱激活,把表面吸附的氣體轉(zhuǎn)移到體內(nèi)(氫氣除外)來(lái)多次重復(fù)獲得新鮮的表面,實(shí)現(xiàn)真空吸附。


可以的。很多金屬元素的新鮮表面都可以作為真空吸附材料,比如TiCe等。Ti泵是使用比較廣泛的真空泵,就是通過(guò)鈦棒蒸發(fā)新鮮鈦到腔壁上來(lái)實(shí)現(xiàn)真空吸附。
現(xiàn)代同步輻射的直線管道則基本采用內(nèi)壁濺射NEGNon-Evaporable Getter)材料來(lái)實(shí)現(xiàn)超高真空,同時(shí)減少電子打到腔壁引起二次電子,避免污染光學(xué)元件。NEG是目前比較流行的技術(shù),主要是鋯鐵釩合金材料,不需要蒸發(fā),通過(guò)真空中加熱激活,把表面吸附的氣體轉(zhuǎn)移到體內(nèi)(氫氣除外)來(lái)多次重復(fù)獲得新鮮的表面,實(shí)現(xiàn)真空吸附。

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